Capres: Kernedelsystemer til metrologiværktøj

DANSK TEKNOLOGI har i samarbejde med Capres udviklet kernedelsystemer til microRSP A300 Tool - et enestående automatisk metrologiudstyr for in-line kvalitetssikring af processer i halvlederindustrien.

Metrologiudstyret er det banebrydende og førende metrologiværktøj for in-line målinger af sheet resistance, essentielt for halvlederfremstillings-industrien.

Værktøjet er udviklet med DANSK TEKNOLOGI som ledende tekniske rådgiver og udvikler af nøglekundespecifik mekanik.

Opgave
DANSK TEKNOLOGI har stået for (1) konceptudvikling, (2) fremstilling af prototyper, (3) tests af prototyper, (4) opstilling og idriftsættelse af protototyper, samt (5) levering af delsystemer i serieproduktion.

 Flere projekter